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匀胶机
功率:50W
转速:300-8000rpm
均一性:<3%
匀胶机英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪等。但其原理功能原理都是一样的,即在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
    应用范围:
      主要用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂层的制备。
    主要性能指标:
     主机机箱采用SUS304不锈钢材料防腐蚀、不生锈、易清洁(抗化学腐蚀易清洁)   
      旋涂程序:最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒 
      支持wafer尺寸:1cm-100mm(4”圆晶) 
      转动速度:0-8 000rpm
      旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(空载) 
      马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1rpm 
      转速调节精度:<1rpm 重复性:< 1rpm 
      工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec 
      旋涂作业均匀性:< ±3% 在4英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)
      较厚重复性:< ±3%
    产品特性优点:
      最新的内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。
      7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。 
      具有operation和Engineer 双界面进行加密保护。
      POM “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。 
      标准配置转速8 000rpm,并可根据用户需要进行定制。
      采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。 
      机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,永不生锈,便于清洗。
      真空腔易清洁。 
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